నైట్రోజన్ ట్రైఫ్లోరైడ్ (NF3) అధిక స్వచ్ఛత వాయువు
ప్రాథమిక సమాచారం
| CAS | 7783-54-2 |
| EC | 232-007-1 |
| UN | 2451 |
ఈ పదార్థం ఏమిటి?
నైట్రోజన్ ట్రైఫ్లోరైడ్ (NF3) అనేది గది ఉష్ణోగ్రత మరియు వాతావరణ పీడనం వద్ద రంగులేని మరియు వాసన లేని వాయువు. ఇది మితమైన ఒత్తిడిలో ద్రవీకరించబడుతుంది. NF3 సాధారణ పరిస్థితుల్లో స్థిరంగా ఉంటుంది మరియు సులభంగా కుళ్ళిపోదు. అయినప్పటికీ, అధిక ఉష్ణోగ్రతలకి గురైనప్పుడు లేదా కొన్ని ఉత్ప్రేరకాల సమక్షంలో అది కుళ్ళిపోతుంది. వాతావరణంలోకి విడుదలైనప్పుడు NF3 అధిక గ్లోబల్ వార్మింగ్ పొటెన్షియల్ (GWP)ని కలిగి ఉంటుంది.
ఈ పదార్థాన్ని ఎక్కడ ఉపయోగించాలి?
ఎలక్ట్రానిక్స్ పరిశ్రమలో క్లీనింగ్ ఏజెంట్: సెమీకండక్టర్స్, ప్లాస్మా డిస్‌ప్లే ప్యానెల్స్ (PDPలు) మరియు ఇతర ఎలక్ట్రానిక్ భాగాల ఉపరితలాల నుండి ఆక్సైడ్‌ల వంటి అవశేష కలుషితాలను తొలగించడానికి NF3 విస్తృతంగా క్లీనింగ్ ఏజెంట్‌గా ఉపయోగించబడుతుంది. ఇది ఈ ఉపరితలాలను దెబ్బతినకుండా సమర్థవంతంగా శుభ్రం చేయగలదు.
సెమీకండక్టర్ ఫాబ్రికేషన్‌లో ఎచింగ్ గ్యాస్: సెమీకండక్టర్ల తయారీ ప్రక్రియలో ఎన్‌ఎఫ్3ని ఎచింగ్ గ్యాస్‌గా ఉపయోగిస్తారు. ఇంటిగ్రేటెడ్ సర్క్యూట్‌ల తయారీలో ఉపయోగించే సాధారణ పదార్థాలు అయిన సిలికాన్ డయాక్సైడ్ (SiO2) మరియు సిలికాన్ నైట్రైడ్ (Si3N4)లను చెక్కడంలో ఇది ప్రత్యేకంగా ప్రభావవంతంగా ఉంటుంది.
అధిక స్వచ్ఛత కలిగిన ఫ్లోరిన్ సమ్మేళనాల ఉత్పత్తి: NF3 అనేది వివిధ ఫ్లోరిన్-కలిగిన సమ్మేళనాల ఉత్పత్తికి ఫ్లోరిన్ యొక్క విలువైన మూలం. ఇది ఫ్లోరోపాలిమర్లు, ఫ్లోరోకార్బన్లు మరియు ప్రత్యేక రసాయనాల ఉత్పత్తిలో పూర్వగామిగా ఉపయోగించబడుతుంది.
ఫ్లాట్ ప్యానెల్ డిస్‌ప్లే తయారీలో ప్లాస్మా ఉత్పత్తి: లిక్విడ్ క్రిస్టల్ డిస్‌ప్లేలు (LCDలు) మరియు PDPలు వంటి ఫ్లాట్ ప్యానెల్ డిస్‌ప్లేల ఉత్పత్తిలో ప్లాస్మాను రూపొందించడానికి ఇతర వాయువులతో పాటు NF3 ఉపయోగించబడుతుంది. ప్యానెల్ తయారీ సమయంలో నిక్షేపణ మరియు చెక్కే ప్రక్రియలలో ప్లాస్మా అవసరం.
ఈ మెటీరియల్/ఉత్పత్తి వినియోగం కోసం నిర్దిష్ట అప్లికేషన్‌లు మరియు నిబంధనలు దేశం, పరిశ్రమ మరియు ప్రయోజనం ఆధారంగా మారవచ్చని గమనించండి. ఏదైనా అప్లికేషన్‌లో ఈ మెటీరియల్/ఉత్పత్తిని ఉపయోగించే ముందు ఎల్లప్పుడూ భద్రతా మార్గదర్శకాలను అనుసరించండి మరియు నిపుణులను సంప్రదించండి.
